Name: Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Brand: Техносфера
SKU: 3262529
Availability: OutOfStock

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

недоступно к заказу

Добавить в лист ожидания

За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Артикул

3262529

Издательство

Техносфера

Тип обложки

твердый переплет

Автор

Берлин Е.В. Григорьев Василий Юрьевич Сейдман Лев Александрович

Штрих код

9785948365190

Год

2018

Страниц

464

Язык

Русский

Размеры

170x240 мм

Вес

867 гр.

Импортер

ООО «Абрис-Бел». 220112, РБ, г. Минск, ул. Cырокомли 7-167

Изготовитель

ЗАО "Рекламно-издательский центр "Техносфера". РФ, г. Москва, Лубянский проезд, 27/1

Показать все характеристики ∨